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安徽某半導體公司除氟項目
項目概況:
在半導體制程清洗、濕法刻蝕等工序中,會使用氫氟酸、氟化銨以及高純水清洗,在干法蝕刻使用其他多種含氟化合物,例如四氟化碳、四氟化硅等等。氫氟酸廢水主要在這兩個領域產生,其中廢水中含氟濃度可以達到1000~3000 mg/L。
水質情況:
原水氟含量 | 8-15 mg/L |
處理水量 | 4000m3/d |
排放標準 | < 1mg/L |
使用藥劑 | GMS-F4 |
處理效果 | 出水穩定在0.8mg/L以下 |
處理難點:
污染物濃度較高,如氟、氨等,廢水一般呈強酸性。
目標要求:
出水穩定在0.8mg/L。
環瑞工藝:
F4深度處理絮凝沉淀工藝
處理優勢:
(1)產品硬度較低,不易造成系統管道等組件堵塞;
(2)反應速度快,只需15-20 min;
(3)能真正將廢水中氟化物降低至1 mg/L以下。
現場照片: